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| 电子特气及电子化学品产品目录 | ||
产品名称 | 分子式 | 产品等级 |
三氟化氮 | NF3 | 4.6N/5.5N |
六氟化钨 | WF6 | 6N |
六氟丁二烯 | C4F6 | 4N |
三氯氢硅 | SiHCl3 | 6N |
二氯二氢硅 | SiH2Cl2 | 5N |
四氯化硅 | SiCl4 | 6N |
正硅酸乙酯 | TEOS | 5-7N |
超纯氨 | NH3 | 7N |
超纯氢 | H2 | 6N |
高纯一氧化碳 | CO | 5N |
高纯二氧化碳 | CO2 | 6N |
高纯甲烷 | CH4 | 5N |
超纯氨水 | -- | G5 |
高纯氯化氢 | HCl | 6N |
高纯氯气 | Cl2 | 6N |
高纯羰基硫 | COS | 5N |
超纯盐酸 | -- | G5 |
溴化氢 | HBr | 5N |
三甲基硅烷 | C3H10Si | 5N |
四甲基硅烷 | C4H12Si | 5N |
鄂公网安备42052802000098号
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